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MEMS靜電揚聲器的振膜通常由薄膜材料制成，這些材料具有良好的電性能和振動特性。

常見的振膜材料包括：

硅：硅是一種常用的MEMS材料，因為它在微納米尺度上加工和加工成薄膜非常方便。硅振膜具有較高的剛度和輕質，可以產生較好的聲音響應。

聚酯薄膜：聚酯薄膜（如聚酯薄膜或PET）也常用于振膜材料，因為它們具有輕質、柔韌和電絕緣性能。這些特性使其適合用于MEMS揚聲器的振膜。

氮化硅（Silicon Nitride）：氮化硅是另一種用于MEMS振膜的材料，它具有良好的機械特性和化學穩定性。

氧化鋁（Alumina）：氧化鋁也可以用于制造振膜，它具有較高的硬度和耐磨性。

MEMS揚聲器的設計和性能會受到振膜材料的選擇影響，不同的振膜材料可以產生不同的聲音特性和頻率響應。因此，振膜材料的選擇是設計MEMS揚聲器時需要考慮的重要因素之一。